燒結(jié)是氮化鋁多層基板產(chǎn)品非常重要的工藝，在這個過程中產(chǎn)品由生瓷通過高溫收縮成熟瓷，對于尺寸精度而言這個階段會影響產(chǎn)品的平整性及絕對尺寸，燒結(jié)曲線與燒結(jié)參數(shù)的穩(wěn)定性是關(guān)鍵因素［９］。 在成瓷階段，由于多層產(chǎn)品本身的結(jié)構(gòu)復(fù)雜存在多重的不對稱性，在收縮的過程中各個方向所受應(yīng)力不盡相同；同時，金屬化與陶瓷的收縮溫度段及收縮率也不相同，產(chǎn)品內(nèi)部金屬化也分布各異，造成各個區(qū)域應(yīng)力分布不同。因此，產(chǎn)品燒結(jié)后各個方面最終的收縮量不同，從而影響平整度。式（２）為雙層共燒的翹曲率方程［１０－１３］： ρ＝ｄ２０ × （１－λ） １２ｔ３０ × （３＋υ）× （１－Ｆ）２ ×ΔＦ（２） 式中，ｄ、λ、ｔ分別 為 材 料 的 初 始 直 徑、厚 度、體 積 分數(shù)，υ代表材料的泊松比，Ｆ 代表平均收縮率，ΔＦ 不 同材料之間的收縮率差。氮化鋁陶瓷加工廠家聯(lián)系電話：15012558160。

通過制定合理的燒結(jié)曲線，則可以使這些應(yīng)力在燒結(jié)過程中有效地釋放改善整個產(chǎn)品的平整度。由于各單位采用氮化鋁體系不同，產(chǎn)品種類各異，沒有單一的燒結(jié)曲線可以參考，總的原則是在滿足產(chǎn)能的原則下，盡可能采用平滑緩慢的燒結(jié)曲線，使應(yīng)力盡可能釋放，得到平整度較好的產(chǎn)品。同時，增加整平工藝，使產(chǎn)品形變在高溫高壓下進一步平整化。

燒結(jié)工藝的穩(wěn)定性包括溫度的穩(wěn)定性，產(chǎn)品承載方式均一性，單位熱容量均等性等因素。溫度的穩(wěn)定性更多的與燒結(jié)設(shè)備有關(guān)，好的設(shè)備由于設(shè)計合理，其爐內(nèi)實際溫度與測試溫度能夠較好的吻合，溫度分布均勻。質(zhì)量較差的設(shè)備由于燒結(jié)曲線的不可控造成產(chǎn)品收縮率波動，尺寸精度惡化。產(chǎn)品承載方式同樣重要，同批次產(chǎn)品如果承載方式不同會造成單個產(chǎn)品在爐內(nèi)實際受熱狀態(tài)不同，同樣會造成尺寸波動。單位熱容量對于氮化鋁多層共燒基板而言則是一個重要而又系統(tǒng)的影響因素，由于不同產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)大小不同，在爐內(nèi)運行過程對熱的實際需求也不同，單位熱容量發(fā)生變化也造成了產(chǎn)品實際溫度的變化，從而影響產(chǎn)品的平整度甚至絕對尺寸偏差。因此在燒結(jié)階段控制好尺寸精度，需要制定合理的燒結(jié)曲線，選用穩(wěn)定的燒結(jié)設(shè)備，盡量選擇相同產(chǎn)品承載方式，并通過計算，合理搭配產(chǎn)品的進爐量與間距使單位熱容量保持穩(wěn)定，從而獲得良好的尺寸精度。

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